石英玻璃由纯二氧化硅构成,其Si—O键具有短程有序、长程无序的非晶结构特征,赋予其一系列独特的物理化学性质:软化温度高达约1580°C,热膨胀系数仅为0.55×10⁻⁶/K,从160 nm远紫外至5 μm远红外均保持优异透射性,电阻率超过10¹⁶ Ω·cm。这些特性使其被誉为“玻璃之王”,在光学、半导体、信息技术、航空航天等战略性产业中占据核心地位。


近二十年来,高功率激光技术的飞速发展对光学材料提出了前所未有的严苛要求。从美国国家点火装置到中国神光-III装置,从工业级万瓦激光加工到空间激光通信,石英玻璃承担着窗口片、透镜、反射镜基底、衍射光学元件、碎片屏蔽片等关键角色。与此同时,在核工业、航天器和高能物理实验中,石英玻璃还需经受中子、γ射线、高能带电粒子等辐射环境的长期考验。这两个应用维度——高功率激光与辐照环境——虽物理机制各异,却共同指向一个核心命题:如何理解和调控石英玻璃在极端能量输入条件下的缺陷演化,从而提升其服役寿命和可靠性。


石英玻璃的基础物化特性


光谱透过性能

石英玻璃最引以为傲的特征之一是其超宽的光谱透过窗口。从紫外到近红外波段,其吸收系数极低,这使得它成为从准分子激光(193 nm、248 nm)、Nd:YAG激光(355 nm、532 nm、1064 nm)到红外激光系统中最常用的透射光学材料之一。高质量的合成熔融石英在紫外波段的内透射率可达99.8%以上。


对于高功率激光应用,吸收系数这一参数尤为关键。即便极微量的吸收,在万瓦级激光的持续辐照下也会积累大量热量,导致热透镜效应、波前畸变甚至元件失效。江苏亨芯石英推出的高纯合成石英产品,其吸收系数已可控制在1 ppm/cm以下(@1064 nm波长),羟基含量小于1 ppm,金属杂质总量小于100 ppb,满足万瓦级以上高功率激光切割用聚焦准直镜和激光光纤端帽的严苛要求。


热力学与机械性能

石英玻璃热膨胀系数极低,约为普通光学玻璃的十分之一。这意味着在高功率激光辐照产生的急剧温升下,材料内部的热应力远小于其他玻璃材料,抗热震品质因素比YAG晶体高约1.5倍。这一特性使得石英玻璃不仅可以作为被动光学元件,还有潜力用作大能量激光器的增益介质基质材料。


从机械性能来看,石英玻璃的抗拉强度约为54 MPa,弹性模量约为73 GPa,密度约2.20 g/cm³。虽然其断裂韧性一般,但在光学加工和镀膜过程中,通过严格控制亚表面损伤(subsurface damage, SSD),可大幅提升其在强激光辐照下的抗损伤能力。


化学稳定性与耐辐射特性

石英玻璃对除氢氟酸外的大多数酸和碱具有优异的耐化学侵蚀性。在辐射环境中,熔融石英表现出良好的耐辐照特性,经10⁸ rad的γ射线辐照后仍可保持99.6%的原始透射率。然而,值得注意的是,长期暴露于高能带电粒子(如太空环境中的宇宙射线)仍会导致其光学性能的退化。


石英玻璃始终站在光与物质相互作用的最前沿。材料科学、激光物理和精密制造等多学科交叉融合所取得的研究成果,正在推动石英玻璃不断突破自身的性能极限,在此背景下,2026年7月9-10日,由弘燊石英产业大会主办的“2026第七届江苏国际石英产业大会”将在江苏·连云港举办,大会特邀中国科学院上海光学精密机械研究所 邵冲云副研究员,分享《面向高功率激光和辐照环境应用的石英玻璃》主题报告。

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       人物介绍        

邵冲云,男,副研究员,任职于中国科学院上海光学精密机械研究所,主要从事熔石英材料相关研究。目前以第一或通讯作者发表SCI论文20余篇,获授权发明专利5项,参编专著2部、企业标准3项;先后主持省部级以上科研项目5项,总经费超1000万元;入选上海市“超级博士后”、上海市“扬帆计划”,并获上海市技术发明奖一等奖(排名8/15)等荣誉。




       报告内容简介       

石英玻璃凭借优异的光学性能、热学稳定性和物理化学综合性能,被誉为“玻璃之王”,在半导体制造、光通信、航空航天、激光聚变等高端技术领域具有广泛应用。随着高功率激光、先进光刻和惯性约束聚变等前沿技术的发展,相关应用场景对石英玻璃的纯度、透过率、抗激光损伤能力、热稳定性、均匀性及缺陷控制提出了更高要求。本报告将围绕高功率激光光纤、激光聚变和半导体光刻三个典型应用方向,重点阐述石英玻璃在不同服役环境下的性能需求、关键技术挑战及相应解决方案。





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